Micro- and Nanotechnologies(1),22/23-R

Studiju kursā tiek apskatīti mikro un nanotehnoloģijās izmantojamie materiāli, to iegūšana un fizikālās īpašības atkarībā no kristālogrāfiskās uzbūves. Tiek skaidrotas tehnoloģijas mikro un nanoierīču ražošanai: mehāniskā apstrāde, epitaksija, litogrāfija, drukāšana, uzputināšana un citas.